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氮化鋁高溫隧道燒結爐設計及試驗研究
作者：陳慶廣，鄧斌，王學仕，萬喜新，姬常曉
摘要：針對以"新基建"為代表的通信領域對高功率,高性能電子元器件的需求,闡述了氮化鋁陶瓷基板的優點和工藝復雜性;針對性開發高溫燒結設備,并據此進行氮化鋁陶瓷高溫燒結工藝試驗,分析了升降溫速率,氣氛場,燒結溫度和時間等因素對高溫燒結產品性能的影響.
關鍵詞：高溫隧道燒結爐 氮化鋁陶瓷 高溫燒結工藝
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