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真空釬焊爐的加熱原理；
真空釬焊爐運(yùn)行時(shí)，首先啟動(dòng)機(jī)械泵、維護(hù)泵和擴(kuò)散泵，同時(shí)打開(kāi)前閥和維護(hù)泵閥，對(duì)擴(kuò)散泵抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到系統(tǒng)的某個(gè)設(shè)定值時(shí)，羅茨泵啟動(dòng)，旁路閥打開(kāi)，底閥關(guān)閉。
此時(shí)，真空室被抽真空。當(dāng)擴(kuò)散泵被加熱到規(guī)定溫度且真空度高于規(guī)定值時(shí)，高閥打開(kāi)，旁路閥關(guān)閉，前閥打開(kāi)。此時(shí)，可以對(duì)真空室抽真空，直到達(dá)到工藝所需的真空度。熱加工過(guò)程完成后，真空室由換熱器充入高純氮?dú)鈴?qiáng)制冷卻，整個(gè)過(guò)程完成。
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