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真空熱處理的工作環(huán)境其實(shí)是
指低于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(1.013×105Pa),
包括低真空(105~102Pa)、
中真空(102~10-1Pa)、
高真空(10-1~10-5Pa)、
超高真空(<10-5Pa)。
真空熱處理設(shè)備始于20世紀(jì)20年代,但是其真正發(fā)展還是從20世紀(jì)六七十年代開始的,主要是因當(dāng)時(shí)市場(chǎng)的需求及石墨技術(shù)的研究發(fā)展。
