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制定真空熱處理工藝的主要內容是:確定加熱 制度(溫度、時間及方式)決定真空度和氣壓調節, 選擇冷卻方式和介質等。
真空熱處理相對來說也是可控氣氛熱處理，只是其工作環境空氣極其稀薄，工件在真空狀態加熱可以避免常規普通熱處理的氧化、脫碳，避免氫脆，變形量相對較小，提高材料零部件的綜合力學性能。經真空熱處理后的部件壽命通常是普通熱處理的壽命的幾十倍，甚至幾百倍。
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