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熱處理爐的等離子加熱裝置
該裝置由真空容器、工作臺、產生等離子體的氣源及供排氣管路和控制電路組成。工件放在真空容器內的工作臺上，連接電源陰極，容器連接電源陽極。控制電路使在低真空中的氣體電離，產生等離子，等離子又在電場作用下高速沖擊工件，將其動能轉化為熱能，加熱工件。此裝置主要用作滲氮等化學熱處理，離子滲氮設備就是此類。其優點是等離子體本身就是滲劑的離子如N+,N+在沖擊工件時，濺射掉工件表面的鈍化膜，并滲入工件內，有較高的滲速和較致密的滲層。
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