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工件經過滲氮處理后尺寸略有脹大。脹大量一般為滲氮層深度的3~4%。適當的預處理、裝爐方法以及工藝流程可將畸變量降至最小。滲氮后需要精磨的零件，最大畸變處的磨削量不能大于0.15mm，否則，滲氮層中最有效的部分將被去除。
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