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光亮退火爐采用雙層水冷循環，系統包括雙層水冷爐殼、電極、加熱體、測溫裝置、冷卻水裝置、真空系統、電源和控制柜(必要時還有脫蠟裝置和氣氛處理裝置)。根據不同的工藝要求，爐殼材料可以是低碳鋼或不銹鋼。爐體可以水平設計，也可以垂直設計。加熱控制區的最大數量可以達到8個(或更多)。通過調整這些熱區的數量和布局，可以獲得更好的溫度均勻性，有些爐型可以優于2。
水冷裝置、爐殼、爐蓋、真空熱處理爐電加熱元件、單獨處理(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件都在真空和加熱條件下工作。在這種極其不利的條件下工作時，必須保證各部分結構不變形或輕微損壞，以免前孔密封圈過熱燒毀。因此，各部分應根據不同情況配備水冷裝置，以保證真空熱處理爐的正常運行。產品的化學處理，如石墨產品或CFC產品的高溫化學凈化，可以通過使用大量流動的工藝氣體來完成，這些氣體可以是N2、氬氣、CH4、H2、氯化氫、R12、R134a等。由微處理器控制的程序順序可以保證過程的完全自動化和可重復性，產品質量穩定。計算機操作界面和相應的數據處理系統能夠滿足高可靠性質量控制的要求。
如果短時間斷水或水壓不足，系統會發出聲光報警，但不影響工作，可以繼續正常工作。斷水或水壓不足時，估計這種情況會持續20分鐘以上，應立即停止加熱。再次加熱，直到水壓恢復正常。此時需要根據當時加熱室的溫度，適當修改工藝曲線。
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