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          國內外連續光亮退火爐系統的研究前景

          返回列表 瀏覽: 發布日期:2020-10-26 15:51:13【

            國內外連續光亮退火爐系統的研究前景,如以美國、德國公司為代表的單點測溫技術,以線光源(燈管)為熱源的雙面加熱形式,利用紅外輻射加熱原理直接加熱硅片。美國應用材料公司獨特的多點側降技術,采用點光源(燈泡)和單面加熱作為熱源。球形燈泡發出的光通過高透射時間窗進入反應室,加熱硅片支撐排列環上的硅片。溫度信號檢測側由多個響應時間非常快的紅外探頭實時檢測,加熱時產物高速旋轉,使得晶圓表面與反應氣體的接觸幾率幾乎相同。連續高溫回火的目的是獲得回火索氏體或珠光體基組織,獲得良好的綜合力學性能。因此,高溫回火通常用作淬火和回火工藝,也可用于非淬火狀態的零件以消除應力和防止變形,如焊接結構零件以消除焊接應力。高溫回火也作為表面淬火返工的中間工藝,以減輕應力,降低硬度,而不是退火工藝。正火后,通常采用高溫回火來降低硬度,改善切削性能。高溫回火也可作為復雜零件和高合金鋼零件熱處理(包括滲碳等)前的預處理工藝。)。).

            產品主要用于燒結和加熱其他新型無機材料,如鋰電池新能源材料、稀土材料、陶瓷材料、耐火材料、磁性材料、電子器件、硬質合金和催化劑。工作溫度可低于1750,可根據不同產品的燒結工藝使用。是連續節能電爐。與間接箱式爐相比,電窯具有節能、操作方便、熱穩定性好、產品合格率高等優點。這是目前中國最理想的燃燒設備。


          國內外連續光亮退火爐系統的研究前景(圖1)

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