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臺車式光亮退火爐技術參數
隨著燃料資源的開發和燃料轉化技術的進步，臺汽車式光亮退火爐的燃料已由塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料逐漸轉變為發生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并開發了與所用燃料相適應的各種燃燒設備。臺臺車式光亮退火爐是一種用于半導體設備制造的工藝，包括加熱多個半導體晶片以影響其電氣功能。熱處理針對不同的功能進行規劃。晶片可以被加熱以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或晶片襯底界面，致密化沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，校正注入損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜轉移到晶片襯底。光亮退火爐可以集成到其他爐處理步驟中，如氧化，也可以單獨處理。光亮退火爐由專門設計用于加熱半導體晶片的設備完成。光亮退火爐是一種超節能結構和纖維結構的節能周期運行爐，節電60%。
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