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          國內(nèi)外連續(xù)光亮退火爐系統(tǒng)的研究前景

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            國內(nèi)外連續(xù)光亮退火爐系統(tǒng)的研究前景,如以美國、德國公司為代表的單點測溫技術(shù),以線光源(燈管)為熱源的雙面加熱形式,利用紅外輻射加熱原理直接加熱硅片。美國應(yīng)用材料公司獨特的多點側(cè)降技術(shù),采用點光源(...

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